Energy efficiency of reactive species generation in radio frequency atmospheric pressure plasma jets driven by tailored voltage waveforms in a He/O 2 mixture

The effect of the shape of the applied voltage waveform on the energy efficiency of reactive species generation is investigated in an atmospheric pressure RF microplasma jet operated in a He/O 2 mixture (99.5%/0.5%) based on a one-dimensional hybrid fluid-kinetic simulation method. Using a tailored...

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Plasma sources science & technology 2024-11, Vol.33 (11), p.11
Hauptverfasser:	Vass, Máté, Schulenberg, David, Donkó, Zoltán, Hartmann, Peter, Steuer, David, Böke, Marc, Schulz-von der Gathen, Volker, Korolov, Ihor, Mussenbrock, Thomas, Schulze, Julian
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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