Modeling a Langmuir probe in atmospheric pressure plasma at different EEDFs
In this study, we present a computational model of a cylindrical electric probe in atmospheric pressure argon plasma. The plasma properties are varied in terms of density and electron temperature. Furthermore, results for plasmas with Maxwellian and non-Maxwellian electron energy distribution functi...
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Veröffentlicht in: | Plasma sources science & technology 2017-04, Vol.26 (5), p.55013 |
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Hauptverfasser: | , , |
Format: | Artikel |
Sprache: | eng |
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Online-Zugang: | Volltext |
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