Comprehensive study of high pressure annealing on the ferroelectric properties of Hf 0.5 Zr 0.5 O 2 thin films

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Nanotechnology 2019-12, Vol.30 (50), p.505204
Hauptverfasser: Oh, Changyong, Tewari, Amit, Kim, Kyungkwan, Kumar, Ulayil Sajesh, Shin, Changhwan, Ahn, Minho, Jeon, Sanghun
Format: Artikel
Sprache:eng
Online-Zugang:Volltext
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Beschreibung
Zusammenfassung:
ISSN:0957-4484
1361-6528
DOI:10.1088/1361-6528/ab3c8f