Review of SrBi 2 Ta 2 O 9 thin films capacitor processing

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Integrated ferroelectrics 1999-10, Vol.26 (1-4), p.197-213
Hauptverfasser:	Dehm, Christine, Hartner, Walter, Schindler, Günther, Bergmann, Renate, Hasler, Barbara, Kasko, Igor, Kastner, Marcus, Schiele, Manuela, Weinrich, Volker, Mazuré, Carlos
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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