Excellent piezoelectric and ferroelectric properties of Sc x Ga1− x N alloy with high Sc concentration

Alloying wurtzite aluminum nitride and gallium nitride (GaN) with scandium (Sc) enhances the piezoelectric and ferroelectric properties, but increasing the Sc concentration while maintaining the wurtzite phase is a major challenge. We meticulously optimized the sputtering conditions to successfully...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	APL materials 2024-12, Vol.12 (12)
Hauptverfasser:	Uehara, Masato, Hirata, Kenji, Nakamura, Yoshiko, Anggraini, Sri Ayu, Okamoto, Kazuki, Yamada, Hiroshi, Funakubo, Hiroshi, Akiyama, Morito
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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