Theoretical upper limits of the thermal conductivity of Si3N4
Silicon nitride (Si3N4) is a promising substrate for high-power electronics due to its superior mechanical properties and potential outstanding thermal conductivity (κ). As experiments keep pushing the upper limit of κ of Si3N4, it is believed that it can reach 450 W/mK, similar to SiC, based on cla...
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Veröffentlicht in: | Applied physics letters 2023-05, Vol.122 (18) |
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Hauptverfasser: | , |
Format: | Artikel |
Sprache: | eng |
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