Micromechanical light modulator array fabricated on silicon

A micromechanical device is described which consists of a thin metal-coated SiO2 membrane fabricated on an ordinary silicon wafer using techniques compatible with IC processing. The membrane can be deflected electrostatically over large angles (≳5°), at high frequencies (≳40kHz), at least 1010 times...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Applied physics letters 1977-10, Vol.31 (8), p.521-523
1. Verfasser:	Petersen, K. E.
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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