Heat accumulation effects in laser processing of diamond-like nanocomposite films with bursts of femtosecond pulses
In this paper, we have investigated the burst mode (BM) ablation and surface structuring of diamondlike nanocomposite (DLN) a-C:H:Si:O films with femtosecond laser pulses (wavelength λ = 515 nm, pulse duration τ = 320 fs, and pulse repetition rate f = 100 kHz) under different scanning conditions (si...
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Veröffentlicht in: | Journal of applied physics 2019-09, Vol.126 (11) |
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Format: | Artikel |
Sprache: | eng |
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Online-Zugang: | Volltext |
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