Heat accumulation effects in laser processing of diamond-like nanocomposite films with bursts of femtosecond pulses

In this paper, we have investigated the burst mode (BM) ablation and surface structuring of diamondlike nanocomposite (DLN) a-C:H:Si:O films with femtosecond laser pulses (wavelength λ = 515 nm, pulse duration τ = 320 fs, and pulse repetition rate f = 100 kHz) under different scanning conditions (si...

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Veröffentlicht in:Journal of applied physics 2019-09, Vol.126 (11)
Hauptverfasser: Neuenschwander, B., Jaeggi, B., Zavedeev, E. V., Arutyunyan, N. R., Pimenov, S. M.
Format: Artikel
Sprache:eng
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Online-Zugang:Volltext
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