Strong second-harmonic generation in silicon nitride films

We observe strong second-harmonic generation from silicon nitride films prepared on fused silica substrates by plasma enhanced chemical vapor deposition. The components of the second-order nonlinear optical susceptibility tensor of the films are calibrated against quartz crystal. The dominant compon...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Applied physics letters 2012-04, Vol.100 (16), p.161902-161902-4
Hauptverfasser:	Ning, Tingyin, Pietarinen, Henna, Hyvärinen, Outi, Simonen, Janne, Genty, Goëry, Kauranen, Martti
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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