Dielectric and electrical properties of sputter grown (Ba,Sr)TiO3 thin films

The dielectric behavior containing the film thickness dependent dielectric constant, capacitance–voltage (C–V) variation, and the electrical conduction behavior containing the film thickness dependent current density-electric field variation of rf sputter deposited (Ba,Sr)TiO3 (BST) thin films are a...

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Journal of applied physics 1999-07, Vol.86 (1), p.506-513
Hauptverfasser:	Shin, Ju Cheol, Park, Jaehoo, Hwang, Cheol Seong, Kim, Hyeong Joon
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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