Nanowire superconducting single-photon detectors on GaAs for integrated quantum photonic applications
We demonstrate efficient nanowire superconducting single photon detectors (SSPDs) based on NbN thin films grown on GaAs. NbN films ranging from 3 to 5 nm in thickness have been deposited by dc magnetron sputtering on GaAs substrates at 350 ° C . These films show superconducting properties comparable...
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Veröffentlicht in: | Applied physics letters 2010-10, Vol.97 (15), p.151108-151108-3 |
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Hauptverfasser: | , , , , , , , , , , |
Format: | Artikel |
Sprache: | eng |
Online-Zugang: | Volltext |
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