Oxidation of metastable single-phase polycrystalline Ti0.5Al0.5N films: kinetics and mechanisms
Metastable single-phase, NaCl-structure, polycrystalline Ti0.5Al0.5N alloy films have been shown to exhibit much better high-temperature (750–900 °C) oxidation resistance than polycrystalline TiN films grown under similar conditions. The Ti0.5Al0.5N alloys, ≂3 μm thick, were deposited at temperature...
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Veröffentlicht in: | Journal of applied physics 1990-02, Vol.67 (3), p.1542-1553 |
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Format: | Artikel |
Sprache: | eng |
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Online-Zugang: | Volltext |
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