High current diffuse dielectric barrier discharge in atmospheric pressure air for the deposition of thin silica-like films
The diffuse dielectric barrier discharge in atmospheric pressure air was applied for the thin film deposition on polymeric web in industrially relevant roll-to-roll configuration. The silica-like film deposition was performed using the admixture of hexamethyldisiloxane precursor to air flow. Fast di...
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Veröffentlicht in: | Applied physics letters 2010-02, Vol.96 (6), p.061502-061502-3 |
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Hauptverfasser: | , , , , , |
Format: | Artikel |
Sprache: | eng |
Online-Zugang: | Volltext |
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