Enhanced domain contribution to ferroelectric properties in freestanding thick films
We report the success in fabricating clamped, "island," and freestanding 10 μ m thick piezoelectric films using aerosol deposition. The deposition was conducted at room temperature by impinging the piezoelectric particles flowing through the nozzle onto platinized silicon ( Pt / Ti / SiO...
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Veröffentlicht in: | Journal of applied physics 2009-07, Vol.106 (2), p.024108-024108-4 |
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Format: | Artikel |
Sprache: | eng |
Online-Zugang: | Volltext |
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