Ferroelectric parallel-plate capacitors with copper electrodes for high-frequency applications

Tunable capacitors with a Cu∕PbxSr1−xTiO3∕Cu parallel-plate structure have been fabricated using a layer transfer method. The use of a Cu bottom electrode results in a giant electrode Q-factor×capacitor area product of QelecA=3.79×105μm2 at 1GHz. The dielectric constant at room temperature is 420 an...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Applied physics letters 2007-12, Vol.91 (25)
Hauptverfasser:	Riekkinen, Tommi, Mattila, Tomi, van Dijken, Sebastiaan, Lüker, A., Zhang, Qi, Kirby, Paul B., Sánchez, Ana M.
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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