Fabrication of ultrathin magnetic structures by nanostencil lithography in dynamic mode

The fabrication of magnetic elements containing constrictions is demonstrated using nanostencil lithography in dynamic mode, i.e., by a continuous translation of a shadow mask with respect to the sample. The authors quantify the current resolution limits of this technique, demonstrating edge profile...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Applied physics letters 2007-02, Vol.90 (9)
Hauptverfasser:	Gross, L., Schlittler, R. R., Meyer, G., Vanhaverbeke, A., Allenspach, R.
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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