Crystal morphology and nucleation in thin films of amorphous Te alloys used for phase change recording

Ex situ transmission electron microscopy (TEM) was used to study the crystal morphology in sputtered amorphous Ge 4 Sb 1 Te 5 , Ge 2 Sb 2 Te 5 , and Ag 0.055 In 0.065 Sb 0.59 Te 0.29 thin films used for phase change recording. Tilting of plan view samples revealed that each crystallized growth forma...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Journal of applied physics 2005-09, Vol.98 (5), p.054902-054902-6
Hauptverfasser:	Kalb, J. A., Wen, C. Y., Spaepen, Frans, Dieker, H., Wuttig, M.
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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