Determination of thin-film stresses on round substrates

Thin films deposited on wafers show, in some cases, large variations in stress. The local curvature is often used in the Stoney equation [ G. G. Stoney , Proc. R. Soc. London, Ser. A 82 , 172 ( 1909 ) ] to calculate the local stress. This practice leads to false stress results. A general method for...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Journal of applied physics 2005-06, Vol.97 (11), p.113525-113525-7
Hauptverfasser:	Blech, Ilan A., Blech, Iditt, Finot, Marc
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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