Nondestructive evaluation of misfit dislocation densities in ZnSe∕GaAs heterostructures by x-ray diffuse scattering

Estimating the low densities of misfit dislocations in epitaxial layers in the early stages of relaxation is difficult, requiring a very sensitive method. The characteristic patterns of diffuse x-ray scattering are therefore utilized to quantify the linear density of misfit dislocations. This is dem...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Journal of applied physics 2005-05, Vol.97 (10)
Hauptverfasser:	Alexe, G., Heinke, H., Haase, L., Hommel, D., Schreiber, J., Albrecht, M., Strunk, H. P.
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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