Surface acoustic wave ultraviolet photodetectors using epitaxial ZnO multilayers grown on r -plane sapphire

A surface acoustic wave (SAW) ultraviolet (UV) photodetector is made of a zinc oxide ( ZnO ) based epitaxial multilayer structure on an r -plane sapphire ( r - Al 2 O 3 ) substrate. Piezoelectric and semiconducting ZnO layers are used for SAW excitation and photodetection, respectively. A thin Mg 0....

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Applied physics letters 2004-10, Vol.85 (17), p.3702-3704
Hauptverfasser: Emanetoglu, Nuri W., Zhu, Jun, Chen, Ying, Zhong, Jian, Chen, Yimin, Lu, Yicheng
Format: Artikel
Sprache:eng
Online-Zugang:Volltext
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