Teflon ™ -coated silicon apertures for supported lipid bilayer membranes

We present a method for microfabricating apertures in a silicon substrate using well-known cleanroom technologies resulting in highly reproducible giga-seal resistance bilayer formations. Using a plasma etcher, 150 μ m apertures have been etched through a silicon wafer. Teflon ™ has been chemically...

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Applied physics letters 2004-10, Vol.85 (15), p.3307-3309
Hauptverfasser: Wilk, S. J., Goryll, M., Laws, G. M., Goodnick, S. M., Thornton, T. J., Saraniti, M., Tang, J., Eisenberg, R. S.
Format: Artikel
Sprache:eng
Online-Zugang:Volltext
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