Teflon ™ -coated silicon apertures for supported lipid bilayer membranes
We present a method for microfabricating apertures in a silicon substrate using well-known cleanroom technologies resulting in highly reproducible giga-seal resistance bilayer formations. Using a plasma etcher, 150 μ m apertures have been etched through a silicon wafer. Teflon ™ has been chemically...
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Veröffentlicht in: | Applied physics letters 2004-10, Vol.85 (15), p.3307-3309 |
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Hauptverfasser: | , , , , , , , |
Format: | Artikel |
Sprache: | eng |
Online-Zugang: | Volltext |
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