Defects and morphological changes in nanothin Cu films on Mo(100) studied by thermal helium desorption spectrometry

Thermal helium desorption spectrometry has been used for a comprehensive experimental investigation of vacancy-related defects and thermal stability of nanothin Cu films (10–300Å) deposited on a Mo(100) substrate at 300K in UHV. In the helium desorption spectra (300–2000K), a peak is observed that s...

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Journal of applied physics 2004-10, Vol.96 (8), p.4463-4474
Hauptverfasser:	Venugopal, V., Seijbel, L. J., van der Pers, N. M., Thijsse, B. J.
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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