New Etches for Germanium
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Veröffentlicht in: | Journal of applied physics 1953-01, Vol.24 (11), p.1411-1412 |
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Hauptverfasser: | , |
Format: | Artikel |
Sprache: | eng |
Online-Zugang: | Volltext |
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ISSN: | 0021-8979 1089-7550 |
DOI: | 10.1063/1.1721189 |