New Etches for Germanium

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Journal of applied physics 1953-01, Vol.24 (11), p.1411-1412
Hauptverfasser: Ellis, R. C., Wolsky, S. P.
Format: Artikel
Sprache:eng
Online-Zugang:Volltext
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Beschreibung
Zusammenfassung:
ISSN:0021-8979
1089-7550
DOI:10.1063/1.1721189