Infrared ellipsometry on hexagonal and cubic boron nitride thin films

Infrared spectroscopic ellipsometry (IRSE) over the wavelength range from 700 to 3000 cm−1 has been used to study and distinguish the microstructure of polycrystalline hexagonal and cubic boron nitride thin films deposited by magnetron sputtering onto (100) silicon. The IRSE data are sensitive to th...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Applied Physics Letters 1997-03, Vol.70 (13), p.1668-1670
Hauptverfasser:	Franke, E., Neumann, H., Schubert, M., Tiwald, T. E., Woollam, J. A., Hahn, J.
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	BORON NITRIDES COATINGS DIELECTRIC PROPERTIES ELLIPSOMETRY GRAIN ORIENTATION INFRARED SPECTRA MATERIALS SCIENCE MICROSTRUCTURE THIN FILMS
Online-Zugang:	Volltext
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