Instrument for the in situ measurement of depositing particles

Contaminant particles peculiar to a type of equipment emanate inside and around a semiconductor, or thin-film-transistor–liquid-crystal-display device fabrication front-end equipment. To analyze such deposition phenomena and implement contamination control measures, it is necessary to observe in sit...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Review of scientific instruments 1997-08, Vol.68 (8), p.3161-3167
Hauptverfasser:	Tsuchiya, Masayoshi, Takami, Katsumi
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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