Simple micrometer driven coarse motion stage with lateral kinematic mount for scanning probe microscopy

We have designed a simple micrometer driven coarse motion stage for scanning probe microscopy. It was tested with a tube scanner based scanning tunneling microscope (STM) of the Lægsgaard/Besenbacher type. A lateral kinematic mount is used for sample positioning. The reproducibility of sample positi...

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Review of scientific instruments 1993-03, Vol.64 (3), p.825-826
Hauptverfasser: Teuschler, T., Ley, L.
Format: Artikel
Sprache:eng
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