Synthesis and evaluation of κ 2 -β-diketonate and β-ketoesterate tungsten( vi ) oxo-alkoxide complexes as precursors for chemical vapor deposition of WO x thin films
Reactions of [WO(OR) 4 ] x ( x = 1, 2) complexes with bidentate ligands (LH = acacH, tbacH, dpmH, tbpaH) afforded complexes 1–13 : [WO(OCH 3 ) 3 (acac) ( 1 ); WO(OCH 2 CH 3 ) 3 (acac) ( 2 ); WO(OCH(CH 3 ) 2 ) 3 (acac) ( 3 ); WO(OCH 3 ) 3 (tbac) ( 4 ); WO(OCH 2 CH 3 ) 3 (tbac) ( 5 ); WO(OCH(CH 3 ) 2...
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Veröffentlicht in: | Dalton transactions : an international journal of inorganic chemistry 2016, Vol.45 (27), p.10897-10908 |
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Hauptverfasser: | , , , , , , |
Format: | Artikel |
Sprache: | eng |
Online-Zugang: | Volltext |
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