Resistive switching dependence on atomic layer deposition parameters in HfO 2 -based memory devices
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Veröffentlicht in: | Journal of materials chemistry. C, Materials for optical and electronic devices Materials for optical and electronic devices, 2014, Vol.2 (17), p.3204-3211 |
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Format: | Artikel |
Sprache: | eng |
Online-Zugang: | Volltext |
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ISSN: | 2050-7526 2050-7534 |
DOI: | 10.1039/C3TC31819B |