Using Solvent Immersion to Fabricate Variably Patterned Poly(methyl methacrylate) Brushes on Silicon Surfaces

In this paper we describe a graft polymerization/solvent immersion method for generating various patterns of polymer brushes. We used a very-large-scale integration (VLSI) process to generate well-defined patterns of polymerized methyl methacrylate (MMA) on patterned Si(100) surfaces. A monolayer of...

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Veröffentlicht in:Macromolecules 2008-11, Vol.41 (22), p.8729-8736
Hauptverfasser: Chen, Jem-Kun, Hsieh, Chih-Yi, Huang, Chih-Feng, Li, P.-M, Kuo, Shiao-Wei, Chang, Feng-Chih
Format: Artikel
Sprache:eng
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Online-Zugang:Volltext
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