Atmospheric Pressure Glow Discharge Deposition of Polysiloxane and SiO x Films

Hydrophobic polysiloxane-like thin films have been deposited onto polyethylene by introducing octamethylcyclotetrasiloxane and tetramethylcyclotetrasiloxane precursors through an ultrasonic atomizer into an atmospheric pressure glow discharge. Enrichment of the gas feed with oxygen gives rise to the...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Langmuir 2003-03, Vol.19 (6), p.2110-2114
Hauptverfasser:	Ward, L. J, Schofield, W. C. E, Badyal, J. P. S, Goodwin, A. J, Merlin, P. J
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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