Oxygen Transport and Incorporation in Pt/HfO 2 Stacks Deposited on Germanium and Silicon

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Journal of physical chemistry. C 2015-02, Vol.119 (8), p.4079-4084
Hauptverfasser:	Rolim, Guilherme Koszeniewski, Gobbi, Angelo, Soares, Gabriel Vieira, Radtke, Cláudio
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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