Fabrication of Microelectrode Arrays Having High-Aspect-Ratio Microwires

A method is described for the fabrication of arrays of conducting, high-aspect-ratio microelectrodes. The microelectrode arrays are fabricated by electrochemical deposition of metals, including Ni, Pt, and Rh, in microchannel glass templates having parallel, uniform, hollow channels. The metals comp...

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Veröffentlicht in:Chemistry of materials 2003-07, Vol.15 (13), p.2520-2526
Hauptverfasser: Merritt, Charles D, Justus, Brian L
Format: Artikel
Sprache:eng
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