Preparation and properties of alane dimethylethylamine, a liquid precursor for MOCVD

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Chemistry of materials 1994-02, Vol.6 (2), p.190-195
Hauptverfasser:	Frigo, D. M, van Eijden, G. J. M, Reuvers, P. J, Smit, C. J
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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