Brookite TiO 2 Thin Film Epitaxially Grown on (110) YSZ Substrate by Atomic Layer Deposition
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Veröffentlicht in: | ACS applied materials & interfaces 2014-08, Vol.6 (15), p.11817-11822 |
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Hauptverfasser: | , , , |
Format: | Artikel |
Sprache: | eng |
Online-Zugang: | Volltext |
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ISSN: | 1944-8244 1944-8252 |
DOI: | 10.1021/am501656r |