Combinatorial Characterization of TiO 2 Chemical Vapor Deposition Utilizing Titanium Isopropoxide
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Veröffentlicht in: | ACS combinatorial science 2015-07, Vol.17 (7), p.413-420 |
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Hauptverfasser: | , , , |
Format: | Artikel |
Sprache: | eng |
Online-Zugang: | Volltext |
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ISSN: | 2156-8952 2156-8944 |
DOI: | 10.1021/acscombsci.5b00040 |