Combinatorial Characterization of TiO 2 Chemical Vapor Deposition Utilizing Titanium Isopropoxide

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:ACS combinatorial science 2015-07, Vol.17 (7), p.413-420
Hauptverfasser: Reinke, Michael, Ponomarev, Evgeniy, Kuzminykh, Yury, Hoffmann, Patrik
Format: Artikel
Sprache:eng
Online-Zugang:Volltext
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Beschreibung
Zusammenfassung:
ISSN:2156-8952
2156-8944
DOI:10.1021/acscombsci.5b00040