Effects of Cl-Based Ligand Structures on Atomic Layer Deposited HfO 2

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Journal of physical chemistry. C 2016-03, Vol.120 (11), p.5958-5967
Hauptverfasser:	Park, Bo-Eun, Oh, Il-Kwon, Lee, Chang Wan, Lee, Gyeongho, Shin, Young-Han, Lansalot-Matras, Clement, Noh, Wontae, Kim, Hyungjun, Lee, Han-Bo-Ram
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!