Maskless nonlinear lithography with femtosecond laser pulses

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Applied physics. A, Materials science & processing Materials science & processing, 2006, Vol.82 (1), p.23-26
Hauptverfasser:	KOCH, J, FADEEVA, E, ENGELBRECHT, M, RUFFERT, C, GATZEN, H. H, OSTENDORF, A, CHICHKOV, B. N
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Cross-disciplinary physics: materials science rheology Exact sciences and technology Materials science Physics Surface treatments
Online-Zugang:	Volltext
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