A chemical sensor based on a micromechanical cantilever array for the identification of gases and vapors

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Applied physics. A, Materials science & processing Materials science & processing, 1998-03, Vol.66 (7), p.S61-S64
Hauptverfasser:	Lang, H.P., Berger, R., Battiston, F., Ramseyer, J.-P., Meyer, E., Andreoli, C., Brugger, J., Vettiger, P., Despont, M., Mezzacasa, T., Scandella, L., Güntherodt, H.-J., Gerber, C., Gimzewski, J.K.
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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