Trajectories of ions inside a Faraday cage located in a high density plasma etcher

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	The Korean journal of chemical engineering 2003-03, Vol.20 (2), p.407-413
Hauptverfasser:	Ryu, Jung-Hyun, Cho, Byeong-Ok, Hwang, Sung-Wook, Moon, Sang Heup, Kim, Chang-Koo
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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