A radiation process in semiconductor-device fabrication

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Soviet Atomic Energy 1988-12, Vol.65 (6), p.980-986
Hauptverfasser:	Shtan', A. S., Terent'ev, B. M., Kon'kov, N. G.
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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