Some features of the electrical forming of MDM systems based on silicon oxynitride films

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Soviet Physics Journal 1976-05, Vol.19 (5), p.602-605
Hauptverfasser:	Burdovitsin, V. A., Galanskii, B. L., Smirnova, K. I., Yankelevich, Yu. B.
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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