Investigation of the diffusion of phosphorus through a film of SiO2 by the radioactive tracer method

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Soviet Physics Journal 1976-05, Vol.19 (5), p.566-571
Hauptverfasser: Goncharov, E. E., Lifirenko, V. D., Makarov, N. M., Ryabova, G. G.
Format: Artikel
Sprache:eng
Online-Zugang:Volltext
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Beschreibung
Zusammenfassung:
ISSN:0038-5697
1573-9228
DOI:10.1007/BF00952551