Aluminium diffusion in titanium nitride films. Efficiency of TiN barrier layers

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Applied Physics A Solids and Surfaces 1993-08, Vol.57 (2), p.195-197
Hauptverfasser:	GRIGOROV, G. I, GRIGOROV, K. G, STOYANOVA, M, VIGNES, J. L, LANGERON, J. P, DENJEAN, P
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Chemical interdiffusion diffusion barriers Condensed matter: structure, mechanical and thermal properties Diffusion in solids Exact sciences and technology Physics Transport properties of condensed matter (nonelectronic)
Online-Zugang:	Volltext
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