Novel aspects of oxygen diffusion in silicon

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Journal of materials science. Materials in electronics 1996-10, Vol.7 (5)
Hauptverfasser:	Binns, M.J., Londos, C.A., McQuaid, S.A., Newman, R.C., Semaltianos, N.G., Tucker, J.H.
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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