Molecular Precursors for the Phase‐Change Material Germanium‐Antimony‐Telluride, Ge 2 Sb 2 Te 5 (GST)

This review provides an overview of the precursor chemistry that has been developed around the phase‐change material germanium‐antimony‐telluride, Ge 2 Sb 2 Te 5 (GST). Thin films of GST can be deposited by employing either chemical vapor deposition (CVD) or atomic layer deposition (ALD) techniques....

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Zeitschrift für anorganische und allgemeine Chemie (1950) 2017-10, Vol.643 (18), p.1150-1166
Hauptverfasser:	Harmgarth, Nicole, Zörner, Florian, Liebing, Phil, Burte, Edmund P., Silinskas, Mindaugas, Engelhardt, Felix, Edelmann, Frank T.
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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