Optical, electrical and acoustic films deposited by the Double Ring Magnetron
Für zahlreiche Anwendungen in Optik, Elektronik und Sensorik werden dünne dielektrische Schichten eingesetzt. Üblicherweise werden diese durch Bedampfung, aktivierte Bedampfung, HF‐Sputtern oder CVD‐Techniken hergestellt. In vorliegender Veröffentlichung wird die Abscheidung solcher Schichten durch...
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| Veröffentlicht in: | Vakuum in Forschung und Praxis : Zeitschrift für Vakuumtechnologie, Oberflèachen und Dünne Schichten Oberflèachen und Dünne Schichten, 2003-06, Vol.15 (3), p.122-126 |
|---|---|
| Hauptverfasser: | , , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | eng |
| Online-Zugang: | Volltext |
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