Theory of the recoil implantation
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Veröffentlicht in: | Physica status solidi. A, Applied research Applied research, 1989-12, Vol.116 (2), p.555-560 |
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Hauptverfasser: | , |
Format: | Artikel |
Sprache: | ger |
Online-Zugang: | Volltext |
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Zusammenfassung: | |
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ISSN: | 0031-8965 1521-396X |
DOI: | 10.1002/pssa.2211160213 |