Feasibility Study of TiO x Encapsulation of Diamond Solution‐Gate Field‐Effect Transistor Metal Contacts for Miniature Biosensor Applications

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Veröffentlicht in:Physica status solidi. A, Applications and materials science Applications and materials science, 2020-12, Vol.217 (23)
Hauptverfasser: Falina, Shaili, Tanabe, Kyosuke, Iyama, Yutaro, Tadenuma, Kaito, Bi, Te, Chang, Yu Hao, Manaf, Asrulnizam Abd, Syamsul, Mohd, Kawarada, Hiroshi
Format: Artikel
Sprache:eng
Online-Zugang:Volltext
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