Effects of Synthesis Parameters on Silicon Nanopowders Produced by CO 2 Laser‐Driven Pyrolysis of Silane

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Chemical vapor deposition 2015-06, Vol.21 (4-5-6), p.133-139
Hauptverfasser:	Kong, Junli, Li, Xuegeng, Yu, Pingrong, Wang, Dong, Zhang, Sen, Xu, Ziqi
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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