Grundlagen integrierter Schaltungen: Bauelemente und Mikrostrukturierung

Integrierte, elektronische Schaltungen haben in den letzten Jahrzehnten unser Leben gewaltig verändert. Kaum ein elektrisches Gerät kommt heute ohne eine integrierte Schaltung aus, und die Computertechnologie wäre ohne integrierte Schaltungen technisch nicht möglich. Im ersten Kapitel des Lehrbuchs wird die Entwicklung dieser Schaltungen beschrieben. Anschließend werden die physikalischen Grundlagen der Halbleiterphysik dargestellt und mit diesem Wissen der Aufbau und die Funktion der wichtigsten Bauelemente erläutert. Daran schließen sich die Fertigungstechnologien der Mikrostrukturierung in der Halbleiterindustrie an. Für die einzelnen Prozesse werden auch die theoretischen Modelle und wichtige Formeln erklärt. Im gesamten Buch wurde auf eine möglichst verständliche Beschreibung der physikalischen Zusammenhänge und technischen Prozesse Wert gelegt, sodass sich Studenten und Ingenieure schnell in das Thema einarbeiten können.